設(shè)備簡介：
◆ Candela?8420/8400系統(tǒng)服務(wù)于光電子、LED、通信和其他化合物半導(dǎo)體市場。改設(shè)備采用經(jīng)典的Candela多通道檢測技術(shù)和嚴(yán)謹(jǐn)?shù)娜毕莘诸愃惴ㄒ詾榭蛻魧崿F(xiàn)產(chǎn)品良率為目的。Candela?8420/8400技術(shù)采用專有的OSA(光學(xué))表面分析器)架構(gòu)，通過測量散射強度，形貌變化，樣品表面反射率和相位計算的方式，用以實現(xiàn)大范圍的自動檢測和缺陷分類(DOI)；統(tǒng)計每一種缺陷的數(shù)量并且量測出相應(yīng)的缺陷尺寸，后給出整個表面的缺陷分布圖以及檢測報告。根據(jù)預(yù)先設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)，可以給出檢測樣品合格與否的判斷。在化合物外延領(lǐng)域擁有很高的市場占有率。
◆ Candela?8420/8400適用于Si晶圓、GaAs、InP, GaN、藍寶石基片及藍寶石外延片表面缺陷檢測分析，包含微粒、劃傷、坑點、污染、痕跡。該設(shè)備可以兼容透明片和不透明片。
